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设备审计的程序包括以下步骤：
1. 确定审计目标和范围：确定审计的目标是什么，审计范围包括哪些设备。
2. 收集设备信息：收集设备的相关信息，包括设备名称、型号、规格、购置日期、原值、累计折旧、净值等。
3. 核实设备所有权：核实设备的所有权归属，确认设备是否属于公司所有。
4. 核实设备数量：核实设备的实际数量是否与账面数量相符。
5. 核实设备价值：核实设备的价值是否与账面价值相符，包括确认设备的原值、累计折旧和净值是否正确计算。
6. 核实设备使用状况：核实设备的使用状况，包括设备是否正常运转、是否存在损坏或故障等。
7. 核实设备维护记录：核实设备的维护记录，包括设备的维修和保养情况，以确保设备的正常运作。
8. 核实设备折旧政策：核实设备的折旧政策是否符合会计准则的规定，以及是否按照政策正确计提折旧。
9. 核实设备报废处理：核实设备的报废处理情况，包括设备是否按照规定程序报废，并确认报废损失是否正确计提。
10. 编制审计报告：根据审计结果编制审计报告，包括对设备审计的意见和建议。

以上是设备审计的一般步骤，具体的程序可能会因公司的实际情况而有所不同。在进行设备审计时，还需要根据具体情况进行调整和补充。